INHA 氣體質量流量控制器

仁荷微電子科技有限公司主要從事質量流量器的研制、開發、制造、銷售以及質量流量器各種配件模具的設計、加工等相關的服務。產品包括超高質量的氣體質量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和全球服務支持方案。本公司產品氣體質量流量控制器廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫藥、標準檢測等各類高新技術領域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統的全面服務。深受廣大客戶的肯定及認同。

我公司生產的氣體質量流量控制器所使用的技術全由我們獨家技術，具有自主知識產權，產品的每一個部件都有我們自己設計制作，且已取得了多項技術專利申請 ,氣體質量流量控制器每一個部件我們都以精益求精的質量服務廣大客戶，讓客戶體驗到自動化流量控制設備帶來的改變，為現有的產品技術升級提供基礎服務。 致力于為客戶開發“生產工藝最優化和成本化”的解決方案及相關產品。并且能夠提供高效優質的售后服務。

產品優勢：
本公司自主開發研制的產品質量流量計，是一種先進的智能精密質量流量測量儀表。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。 該流量計即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術指標已達到國際先進水平， 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產的產品所使用的技術全由我們獨家技術，具有自主知識產權，產品的每一個部件都有我們自己設計制作，且已取得了多項技術專利申請
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF產品系列特點：
有很寬的工作壓力范圍，產品可以從真空直到10Mpa;本產品可以使用多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如三氟化硼、三氯化硼、氯化氫、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產品最小流量范圍可達0~10sccm，最大流量范圍可達0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~100%（量程比為50:1）。
——耐高壓（最大工作壓力可達100bar）
——響應時間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標準質量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優惠的價格極具性價比
——準確率高
——穩定的流量控制
——壓力范圍廣

用途和特點
氣體質量流量控制器（MFC）在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結構

氣體質量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源，3位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術指標

編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程